微電子機械可以達到多少尺寸

⑴ 微電子工藝-什麼是關鍵尺寸，目前達到的程度

是特徵尺寸吧?特徵尺
寸的大小代表了工藝
技術水平，越小工藝
水平越高，現在到45
納米了。

⑵ 機械生產製造中一般的尺寸應該多少偏差算是合格

關於尺寸的公差有好幾種,比如一般常用的有ISO2768,就有針對一般尺寸的公差規定,但沒個行業的標准不一定統一,有些還得看配合,意思是某些尺寸只能大,或只能小,具體的你可以去看看機械設計手冊

⑶ 機械圖紙中某一個尺寸為參考值,那它具體范圍是多少

REF是Reference的縮寫，為參考來尺寸的意思。自
參考尺寸依ASME Y14.5上的定義是:
1、在別處已有標示的尺寸，為了看圖人的方便，在其他位置重復標示的尺寸;
2、可以由現有尺寸計算出來的尺寸，但也是為了看圖人的方便，而標示的尺寸;
3、參考尺寸是不可量測的。

⑷ 微電子機械繫統的介紹

微電子機械繫統（MEMS)是指大小在毫米量級以下，構成單元尺寸在微米、納米量級的可控制的可運動的微型機電裝置，是集成微機構、微感測器、微執行器以及信號處理控制等功能於一體的系統。各國對微電子機械繫統（MEMS）有不同的稱呼，在美國，用Micro-Electro-Mechanical-Systems（縮寫為MEMS)表示，譯為微電子機械繫統或微機電系統。在歐洲，用Microsystem Technology（縮寫為MST)表示，譯為微機械技術。在日本，用Micromachine表示，譯為微機械。

⑸ 微電子機械繫統的百科名片

微電子系統是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology)基礎上的21世紀前沿技術，使之對微米/納米材料進行設計、加工、製造和控制的技術。它可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統、數字處理系統集成為一個整體單元的微型系統。這種微電子機械繫統不但能夠採集、處理與發送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部指令採取行動。它用微電子技術和微加工技術（包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術）相結合的製造工藝，製造出各種性能優異、價格低廉、微型化的感測器、執行器、驅動器和微系統。
微電子機械繫統（MEMS）是近年來發展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活產生革命性的影響，它涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物、材料等學科。
微電子機械繫統已經被用於汽車氣囊的加速計。它們以較低的成本替換了可靠性低一些的設備，並且承諾能夠根據減速的感覺而且能夠根據所保護人的體積大小來充氣。基本上，一個微電子機械繫統設備包含了一塊小矽片晶元上的微電路，一些機械設備像鏡像和感測器被植入其中。潛在的，這種晶元能夠以低成本大量製造，成本效益好。
現在可以使用或者正在研究的微電子機械繫統是： 能夠被包含在快信包裹中以用來連續追蹤和感覺到在途中處理的包裹的全球定位系統感測器。 植入機翼機構中的感測器，這樣機翼能夠感覺氣流並對其作出反應，改變機翼表面阻力；有效的創造出許多微小的副翼。 光學開關設備，能夠以億分之二秒的開關速度在不同路徑開關光信號。 感測器驅動的製冷制熱系統，能極大地改善節能效果 嵌入式感測器的建築支持，可以改變基於大氣壓力感應的材料的適應性 Saffo區分了感測受動器型微機（他稱為「MEMS」）和包含齒輪、鏡像、電子管和其它部分的微型設備（他稱為「微型機械」）。

⑹ 名義尺寸一般可加多少《機械》

「一般名義尺寸是不是可加減0.5了」--不是這樣的！按GB/T 1804-2000《一般公差 未注公差的線性和角度尺寸的公差》的規定，未注公差分「精密f、中等m，粗糙c，最粗v 」四個等級，且公差都是雙向的，在技術要求中應該標明如：「未注公差GB/T 1904-m」供參考！

⑺ 微電子機械繫統的發展歷程

有關微機械繫統的歷史，最早可以追溯到1959年12月，美國物理學家諾貝爾獎獲得者R.P.Feynman在美國加州理工學院舉行的美國物理協會年度會議上的科普演講中，首次提出了MEMS概念。
事實上，在Feynman演講之前科學家們已經成功地研製出指甲蓋兒大小的電機，然而Feynman認為，這些研究成果在小型化的道路上還很原始、粗糙，尚處於技術初期階段。他的結論是，」在這以後還有更加令人震驚的微小世界「，他設想可以將24卷《大英網路全書》寫在針尖上，要做到這件事只需要將尺寸縮小到1/25000即可。歷史證明了Feynman的卓遠見識，納米科技、MEMS及量子計算和分子自組裝等領域向人們展示了微小世界的巨大潛力。
1987年研製出的微型馬達的原理來自於該演講的思想，因此人們普遍認為MEMS研究的時間起點為1959年。
1962年，微小器件的先驅——第一個硅微壓力感測器問世，它的特徵是用硅膜、壓敏電阻和體硅腐蝕。它是MEMS微感測器的起始點，同時也是MEMS體加工（bulk micromachining）的起始點。
1967年，美國西屋研究實驗室Nathanson等人報道了硅諧振柵晶體管。它的特徵是用靜電激勵起柵振動，它是MEMS執行器的起始點。
1968年，美國Mallory公司Wallis等人報道了硅玻璃靜電鍵合技術，該技術成為後來微感測器封裝的主要技術之一。
1978年，美國IBM的Bassous等人報道了硅微噴嘴。它是MEMS微結構的起點。
1979~1985年，以集成感測器為主要對象的MEMS領域第一次成為熱點。各種新型MEMS加工技術接連出現。
1987~1988年間，一系列關於微機械和微動力學的技術會議召開，MEMS一詞在這些會議中被廣泛採納並逐漸成為一個世界性的學術用語。目前MEMS研究開發主要集中在微感測器、微執行器和微系統三個方面。

⑻ 目前納電子機械繫統測量精度達到了多少

隨著科技的發展，電子機械器械的尺寸也越來越小。相對於傳統的機械，目前的微型機電系統的尺寸可以小到微米級或者納米級。微米級的電子機械繫統簡稱MEMS(micro-electronmechanicalsystems)，納米級的電子機械繫統簡稱NEMS(nano-electronmechanicalsystems)。這種超小型系統可將機械構件、光學系統、驅動部件、電控系統集成為一個整體單元的系統，不僅能夠採集、處理與發送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令採取行動。目前，科學家正將NEMS技術，用於諧振式感測器、高密度存儲、單分子檢測、生物電機、微探針生化檢測、機械單電子器件等研究工作中。

2004年，康奈爾大學一個由工程學教授克雷格海德領導的研究小組在研究增加物質質量如何產生振動頻率的時候，使用微型擺動懸臂檢測到了小到6阿克的質量。

這種超小型裝置就是一種納電子機械繫統，測量的質量可精確到阿克級，也就是10-18g。一些小病毒的質量大約在10阿克。在這之前，研究組測量了一種質量為665飛克的科里病毒。

因為一個物體的振動頻率與質量有關，例如一根質量大的琴弦要比一個質量小的琴弦振動得慢，發出低沉的聲音。NEMS系統主要用於檢測和鑒定微生物和生物分子。它的懸臂振動由硅和氮化硅製成，振動頻率非常快，通常在1～10兆赫之間。任何一點非常微小的質量變化，都會導致振動頻率的改變。振動頻率用觀測照射到被測物體上的激光光束的變化來獲得。

在細胞檢測時，研究人員把懸臂塗抹上結合有病毒的抗體，然後把懸臂浸入細胞液中。一些細胞會附著在懸臂上，這增加的質量就會改變懸臂的振動頻率。如果恰好有一個細胞附著在懸臂上，就會測得單一細胞的質量。研究人員曾把一粒直徑為50納米的小金點附著在懸臂上，再通過化學反應使金點表面上形成只有幾百個分子的單子分層。通過測量頻率的變化，研究人員計算出增加的這個小金點的分子層質量只有6.3阿克。

提高系統的測量精度的辦法是減小擺動懸臂測量裝置的尺寸，並把擺動懸臂置於超真空之中。科學家認為，經過改進，這種裝置的測量精度可以提高到千分之一阿克。

超小型機電系統將給人類社會帶來又一次技術革命，將對21世紀的科學技術、生產方式和人類生產質量產生深遠影響。

⑼ 微電子機械繫統（MEMS）研究的尺寸范圍是

MEMS研究的尺寸范圍一般定義在微米到毫米之間，區別於一般的「宏」，即傳統意義上的機械尺度，但其實還並未進入物理上的圍觀尺度（原子的尺度約為1埃，即0.1nm）。
現在納米技術的不斷成熟，NEMS（即micro->nano）更多focus on納米尺度的微觀研究，它與MEMS一樣是重要的微納技術。