分子泵和机械泵如何连接
㈠ 真空镀膜时机械泵、罗茨泵、分子泵各在什么时候启动
机械泵随时都可以启动,罗茨泵根据你的要求来,最好是一千帕到五百帕启动,也可以到一万帕,分子泵要晚点,四五帕的时候
㈡ 分子泵与机械泵,在真空系统中是串连吗
获得真空设备在真空系统正常运行的情况下是串联的
㈢ 什么是机械泵、电磁阀、分子泵
分子泵没有听说过。电磁阀是通过电磁铁控制阀位的换向。可以实现远程控制。
机械泵的概念很宽吧,说有的定量泵 容积泵都是机械泵。
㈣ 机械泵分子泵扩散泵蠕动泵有什么区别。。。。它们的工作原理分别是什么
机械泵由电机和泵体两大部分组成。普通型机械泵由电机通过皮带带动泵轴旋专转;直连型机械泵是电属机直接与泵轴连接,无中间传动环节。机械泵是利用气体膨胀、压缩、排出的原理,把气体从容器里抽出的。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。
蠕动泵就像用手指夹挤一根充满流体的软管,随着手指向前滑动管内流体向前移动。蠕动泵也是这个原理只是由滚轮取代了手指。通过对泵的弹性输送软管交替进行挤压和释放来泵送流体。
㈤ 分子泵和离子泵能同时工作吗
涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ,即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ,就可能与第二个气体分子相碰。而在 1.3Pa 时,分子间平均自由程可达 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
㈥ pvd真空镀膜时为什么罗茨泵和机械泵一起使用 和分子泵先后顺序
机械泵起动,真空度到达起动启动罗茨泵,分子泵由维持泵维持分子泵真空度,当容器真空度到达打开分子泵的精抽阀.
㈦ 扩散泵与机械泵与分子泵之间的联系是什么
机械泵一般为中低真空泵,扩散泵,分子泵为高真空泵,机械泵一般作为扩散泵,分子泵的前级泵。
㈧ 分子泵和机械泵同时对腔室抽真空,会有什么后果
你说的同时是串联还是并联啊,串联的话真空度会变高流量没啥变化,并联的话流量有变化真空度还是分子泵的真空度。
㈨ 分子泵原理
分子真空泵
它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,回从而被压缩、答被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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哈,我现在正在做分子泵呢
㈩ 真空泵 分子泵 离子泵
分子泵和离子泵都属于真空泵。分子泵和离子泵属于不同原理的两种泵,两种泵的最大区别就是真空度的不同,一般用分子泵来实现高真空,用离子泵来实现超高真空。