微电子机械可以达到多少尺寸

⑴ 微电子工艺-什么是关键尺寸，目前达到的程度

是特征尺寸吧?特征尺
寸的大小代表了工艺
技术水平，越小工艺
水平越高，现在到45
纳米了。

⑵ 机械生产制造中一般的尺寸应该多少偏差算是合格

关于尺寸的公差有好几种,比如一般常用的有ISO2768,就有针对一般尺寸的公差规定,但没个行业的标准不一定统一,有些还得看配合,意思是某些尺寸只能大,或只能小,具体的你可以去看看机械设计手册

⑶ 机械图纸中某一个尺寸为参考值,那它具体范围是多少

REF是Reference的缩写，为参考来尺寸的意思。自
参考尺寸依ASME Y14.5上的定义是:
1、在别处已有标示的尺寸，为了看图人的方便，在其他位置重复标示的尺寸;
2、可以由现有尺寸计算出来的尺寸，但也是为了看图人的方便，而标示的尺寸;
3、参考尺寸是不可量测的。

⑷ 微电子机械系统的介绍

微电子机械系统（MEMS)是指大小在毫米量级以下，构成单元尺寸在微米、纳米量级的可控制的可运动的微型机电装置，是集成微机构、微传感器、微执行器以及信号处理控制等功能于一体的系统。各国对微电子机械系统（MEMS）有不同的称呼，在美国，用Micro-Electro-Mechanical-Systems（缩写为MEMS)表示，译为微电子机械系统或微机电系统。在欧洲，用Microsystem Technology（缩写为MST)表示，译为微机械技术。在日本，用Micromachine表示，译为微机械。

⑸ 微电子机械系统的百科名片

微电子系统是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不但能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术（包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术）相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响，它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等学科。
微电子机械系统已经被用于汽车气囊的加速计。它们以较低的成本替换了可靠性低一些的设备，并且承诺能够根据减速的感觉而且能够根据所保护人的体积大小来充气。基本上，一个微电子机械系统设备包含了一块小硅片芯片上的微电路，一些机械设备像镜像和传感器被植入其中。潜在的，这种芯片能够以低成本大量制造，成本效益好。
现在可以使用或者正在研究的微电子机械系统是： 能够被包含在快信包裹中以用来连续追踪和感觉到在途中处理的包裹的全球定位系统传感器。 植入机翼机构中的传感器，这样机翼能够感觉气流并对其作出反应，改变机翼表面阻力；有效的创造出许多微小的副翼。 光学开关设备，能够以亿分之二秒的开关速度在不同路径开关光信号。 传感器驱动的制冷制热系统，能极大地改善节能效果 嵌入式传感器的建筑支持，可以改变基于大气压力感应的材料的适应性 Saffo区分了传感受动器型微机（他称为“MEMS”）和包含齿轮、镜像、电子管和其它部分的微型设备（他称为“微型机械”）。

⑹ 名义尺寸一般可加多少《机械》

“一般名义尺寸是不是可加减0.5了”--不是这样的！按GB/T 1804-2000《一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差》的规定，未注公差分“精密f、中等m，粗糙c，最粗v ”四个等级，且公差都是双向的，在技术要求中应该标明如：“未注公差GB/T 1904-m”供参考！

⑺ 微电子机械系统的发展历程

有关微机械系统的历史，最早可以追溯到1959年12月，美国物理学家诺贝尔奖获得者R.P.Feynman在美国加州理工学院举行的美国物理协会年度会议上的科普演讲中，首次提出了MEMS概念。
事实上，在Feynman演讲之前科学家们已经成功地研制出指甲盖儿大小的电机，然而Feynman认为，这些研究成果在小型化的道路上还很原始、粗糙，尚处于技术初期阶段。他的结论是，”在这以后还有更加令人震惊的微小世界“，他设想可以将24卷《大英网络全书》写在针尖上，要做到这件事只需要将尺寸缩小到1/25000即可。历史证明了Feynman的卓远见识，纳米科技、MEMS及量子计算和分子自组装等领域向人们展示了微小世界的巨大潜力。
1987年研制出的微型马达的原理来自于该演讲的思想，因此人们普遍认为MEMS研究的时间起点为1959年。
1962年，微小器件的先驱——第一个硅微压力传感器问世，它的特征是用硅膜、压敏电阻和体硅腐蚀。它是MEMS微传感器的起始点，同时也是MEMS体加工（bulk micromachining）的起始点。
1967年，美国西屋研究实验室Nathanson等人报道了硅谐振栅晶体管。它的特征是用静电激励起栅振动，它是MEMS执行器的起始点。
1968年，美国Mallory公司Wallis等人报道了硅玻璃静电键合技术，该技术成为后来微传感器封装的主要技术之一。
1978年，美国IBM的Bassous等人报道了硅微喷嘴。它是MEMS微结构的起点。
1979~1985年，以集成传感器为主要对象的MEMS领域第一次成为热点。各种新型MEMS加工技术接连出现。
1987~1988年间，一系列关于微机械和微动力学的技术会议召开，MEMS一词在这些会议中被广泛采纳并逐渐成为一个世界性的学术用语。目前MEMS研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面。

⑻ 目前纳电子机械系统测量精度达到了多少

随着科技的发展，电子机械器械的尺寸也越来越小。相对于传统的机械，目前的微型机电系统的尺寸可以小到微米级或者纳米级。微米级的电子机械系统简称MEMS(micro-electronmechanicalsystems)，纳米级的电子机械系统简称NEMS(nano-electronmechanicalsystems)。这种超小型系统可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的系统，不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。目前，科学家正将NEMS技术，用于谐振式传感器、高密度存储、单分子检测、生物电机、微探针生化检测、机械单电子器件等研究工作中。

2004年，康奈尔大学一个由工程学教授克雷格海德领导的研究小组在研究增加物质质量如何产生振动频率的时候，使用微型摆动悬臂检测到了小到6阿克的质量。

这种超小型装置就是一种纳电子机械系统，测量的质量可精确到阿克级，也就是10-18g。一些小病毒的质量大约在10阿克。在这之前，研究组测量了一种质量为665飞克的科里病毒。

因为一个物体的振动频率与质量有关，例如一根质量大的琴弦要比一个质量小的琴弦振动得慢，发出低沉的声音。NEMS系统主要用于检测和鉴定微生物和生物分子。它的悬臂振动由硅和氮化硅制成，振动频率非常快，通常在1～10兆赫之间。任何一点非常微小的质量变化，都会导致振动频率的改变。振动频率用观测照射到被测物体上的激光光束的变化来获得。

在细胞检测时，研究人员把悬臂涂抹上结合有病毒的抗体，然后把悬臂浸入细胞液中。一些细胞会附着在悬臂上，这增加的质量就会改变悬臂的振动频率。如果恰好有一个细胞附着在悬臂上，就会测得单一细胞的质量。研究人员曾把一粒直径为50纳米的小金点附着在悬臂上，再通过化学反应使金点表面上形成只有几百个分子的单子分层。通过测量频率的变化，研究人员计算出增加的这个小金点的分子层质量只有6.3阿克。

提高系统的测量精度的办法是减小摆动悬臂测量装置的尺寸，并把摆动悬臂置于超真空之中。科学家认为，经过改进，这种装置的测量精度可以提高到千分之一阿克。

超小型机电系统将给人类社会带来又一次技术革命，将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响。

⑼ 微电子机械系统（MEMS）研究的尺寸范围是

MEMS研究的尺寸范围一般定义在微米到毫米之间，区别于一般的“宏”，即传统意义上的机械尺度，但其实还并未进入物理上的围观尺度（原子的尺度约为1埃，即0.1nm）。
现在纳米技术的不断成熟，NEMS（即micro->nano）更多focus on纳米尺度的微观研究，它与MEMS一样是重要的微纳技术。